类别： XRF/多导毛细管 M 系列：

标配： ● 50瓦，钼钯微聚焦X射线管

● 75mm?大面积高分辨率 SDD 探测器, 分辨率优于 135eV 

● Z 轴自动控制，可容纳样品高度 140 mm 

● 可调节 LED 样品照明 

● 安全互锁及Z 轴防碰撞机构

● 基于 FP 的膜厚测量软件 X-Raliser 

● 4 位置自动切换一次滤波器 

● 电脑等同或优于 i5 处理器、8G 内存、480G固态硬盘、 21 寸 LED 屏

● 黑白激光或彩色喷墨打印机 

M 系列： M 系列 

● 双镜头图像系统 

■ 100X 光学放大微区相机，1X~4X 数字放大

■ 2X 宏观相机 

● 多导毛细管光学机构 Flex-Beam Capillary Optics @15 um FWHM ，可测量最小***直径 26 um

● 固定焦距：1.27 mm

● 标准电动可编程 XY 平台，行程 165x165 mm 

● 标准 XY 台面尺寸 600x600 mm * 可选加大电动可编程 XY 平台，行程254x254 mm * 可选加大 XY 台面尺寸 635x635 mm * 可选加大电动可编程 XY 平台，行程400x400 mm * 可选加大 XY 台面尺寸 800x770 mm

● 可完成镀层厚度测量、元素分析、电镀液分析 

● 最多同时测量5层(4层镀层+底材),每层可同时分析10种元素 

● 成分测量可同时分析 25 种元素 ● 元素范围从 Al 铝（13）到 U 铀（92） 

● 厚度范围从低至 1nm（纳米）到超过 100um（微米） 

● 符合ASTM B568，DIN 50987和*** 3497标准

 ● 满足 IPC-4552A，4553，4554，4556***